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晶圓片附著痕量有機(jī)物分析(GCMS)

  • 儀器品牌島津
  • 經(jīng)營(yíng)單位京科瑞達(dá)
  • 我們的產(chǎn)品已覆蓋色譜,光譜,質(zhì)譜三大類(lèi)共100多個(gè)品規(guī),品種全,規(guī)格多,能滿(mǎn)足客戶(hù)對(duì)分析儀器的需求。主要產(chǎn)品有:氣相/液相色譜儀(GC/HPLC)、氣質(zhì)/液質(zhì)聯(lián)用儀(GCMS/LCMS)、紫外/紅外光譜儀(UV/FTIR)、原子吸收光譜儀(AAS)、等離子體光電直讀光譜儀(ICP/ICP-MS)等。二手分析儀器在醫(yī)藥、化工,環(huán)保、食品、科研等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用,有效地解決了客戶(hù)對(duì)分析儀器“想用買(mǎi)不起”的困擾,受到了廣大客戶(hù)的認(rèn)可。
全國(guó)熱線(xiàn)400 0000 439

詳情介紹

與硅片所接觸的材料,設(shè)備,人員等外界環(huán)境都包含有機(jī)化合物。在該實(shí)例中,一塊8英寸硅片被壓覆于一塊晶片加熱板上。晶片表面所產(chǎn)生的揮發(fā)性氣體可以通過(guò)一臺(tái)GC-MS進(jìn)行收集和分析。

通常,塑料材質(zhì)的零配件會(huì)檢測(cè)出包含C12(1-十二碳烯)、環(huán)甲基硅氧烷(n=6)和二羧酸酯組分。

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氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀

通過(guò)加熱晶圓片,分析有機(jī)物揮發(fā)出的氣體組分所對(duì)應(yīng)的色譜圖,進(jìn)而對(duì)附著于晶片的有機(jī)物進(jìn)行定性分析。樣品可以通過(guò)一個(gè)氣體收集器進(jìn)行采集。此檢測(cè)系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)ng級(jí)樣品濃度的定量分析。


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精選氣相色譜分析解決方案

我們的 GC 解決方案包括使您能夠成功進(jìn)行氣相色譜分析的氣相色譜分析儀、進(jìn)樣器、檢測(cè)器,色譜柱、自動(dòng)進(jìn)樣器以及軟件。

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